Plasmaquellen

• Höchstleistungs-ICP Quellen Modulares plug-in System bis 5 kW je Modul, 13.56 MHz, pulsbar, unerreicht hoher Wirkungsgrad
• RF Mikroplasma- Jet Anlage Zur Behandlung von Oberflächen und Schichtabscheidung bei Atmosphärendruck