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Expertise

Plasmadiagnostik

Es existiert umfangreiche Expertise bei folgenden Diagnostiken und Monitoringtools

  • Langmuirsondenmessungen (Ne, Te, EEDF...)
  • Plasmaresonanzsonde (Ne in reaktiven Plasmen)
  • Gegenfeldanalysator (IEDF und Ionenflüsse in RF-Plasmen)
  • Massenspektrometrie (Analyse der Plasmachemie und Flüsse)
  • optische Emissionsspektroksopie (Dichten, Konzentrationen)
  • Mie-Ellipsometrie (Partikel in Plasmen)
  • TDLAS, FTIR (Konzentrationen)
  • weitere spezialisierte Diagnostiken (LIF, TALIF, TIMS, Atmosphärendruck-MS...)

 

 

Plasma Modellierung

Es existiert umfangreiche Expertise bei der Modellierung von Plasmen

  • FEM Modellentwicklung
  • Bayessche Analyse der Plasmachemie

 

 

Spezielle Expertise

Zusätzlich zu den angebotenen Dienstleistungen, Geräten und Anlagen hat die PAC Plasma Applications Consulting GmbH & Co. KG spezielle Expertise auf den Gebieten (Auswahl):

  • Dehnfähige Verschleißschutzschichten auf Metallen wie z.B. Cu, Ni, Edelstahl, Molybdän, Wolfram, NiTi Formgedächtnislegierungen. Es handelt sich in der Regel um sehr dünne Mehrlagen-Schichtsysteme mit einer Deckschicht aus DLC (Diamond-like Carbon).
  • Biokompatible Beschichtungen von Metallen
  • Abscheidung von Diffusionshemmschichten für Kohlendioxid und Sauerstoff auf Kunststoffen (Verpackungen von Lebensmitteln, Getränkeflaschen)
  • Funktionelle Beschichtungen auf Glas z.B. mit variabel einstellbarem Brechungsindex für optische oder dekorative Anwendungen
  • Herstellung und Charakterisierung von Nanopartikeln durch Plasma-Polymerisation
  • in-situ Prozessdiagnostik hinsichtlich Nano Partikelbildung
  • Sterilisation und Dekontamination mit Plasmaprozessen
  • Funktionalisierung von Oberflächen
  • Ultraschnelle ortsaufgelöste Analyse von High Power Impuls Magnetron Sputtering Prozessen (HIPIMS bzw. HPPMS)